最火激光扫描对光罩膜的检验膜的穿透率及均匀度

激光扫描对光罩膜的检验膜的穿透率及均匀度检验

在穿透率的检验方面，通常是使用UV光谱仪来量测膜的穿透率及它此增加值为0.2mm的均匀度，此外须要考量漫射光线(stray light)造成的背景干扰、频谱分辨率(即光闸的频宽)、及UV光谱仪入射光至Pellicle的角度。 虽然对于有些薄膜供货商的产品可能偶尔会超出规格，但是通常每片薄膜的穿透率都是量测过的，所以穿透率一般是没问题的。

穿透光的均匀度是由单色光源来检验且通常是绿色的汞灯或氦氖灯。 在单色光的帮助下，因为膜是旋转式涂布制程制作，这些在膜上的不均匀点可以很容易地被的检验出来。同样地， MLI曾采用反射式激光检验机台来查验未涂布膜的均匀度， 未涂布膜的厚度可以借着UV光谱仪的穿透及反射率计算得知，或是用一般商品化的膜厚度量测机而不能成为准确的结果器。

膜上微尘的检验

利用微尘标准品校正微尘检验机台准确性是非常重要的， 特别是1 μm、0.5 μm及0.3 μm的微尘标准样品对pellicle微尘检验工具的校正。这些微尘标准品甚至对于目检也应该定期教导联机操作人员以确保检验准度。

目前有三种检验膜上微尘的方式—检验人员、激光扫描及影像摄影检验。人的眼力是十分敏锐的， MLI发现辅以适当的光源，0.3 μm大小的微尘也可以被检验出来(以在膜上的标准塑料粒来校正并以激光扫描机器验证)。不论如何，人眼检验是无法量化的，因为有很多因素使得量化不易，诸如检验人员的眼力、聚焦能力、检验的位置和角度、 膜和眼睛的距离、入射及背景光强度、和人眼瞳孔对背景光的反应等等。 因此同样检验1 μm以下的微尘，不同的检验人员可能有不同大小的判断。

甚至以机器检验也没办法得到很好的重复量测结果。 以激光扫描检验微尘来说，最佳的重复性大约为+/- 20%，其瓶颈主要是控制在扫描线的重叠及扫描线的稳定性，而扫描线的稳定性会被光学扫描系统的震动所限制。一般来说，激光扫描可以检测小于0.3 μm的微尘。

影像摄影检验在适当的照明系统下可以容易地检测到小于0.3 μm的微尘，藉由现今高速计算机的摄像系统和影像处理，这是最好的量测膜上微尘的方法。

以上三种检验方式各有其限制，眼力、激光扫描、和影像摄影检验都是侦测散射光而不是实际微尘的大小。微尘实际上的大小可能大于散射光所呈现的大小，有时是10倍于所侦测到的大小。此外，激光检验的限制是无法侦测框架边缘大约 mm的膜微尘，此区域大小Altair和Componeering最初的合作是缘于它们的共同客户RUAG Space取决于激光扫描的角度、激光光点的强度、框架的高度及光在框架边缘的散射程度。

相对于眼力检验，激光扫描及影像摄影检验的优点是重复性高，况且在强光下眼力检验对人员来说是不怎么舒适的工作环境。不过，人员检验还是有相当多优点，诸如不错的敏感度、快速、可检验至框架边缘、和甚至可判断比较大的微尘是在薄膜外面或内面等等。

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